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1、比例閥放大器+比例閥  模擬信號經(jīng)過放大版轉成是0-1A的電流驅動比例閥。開環(huán)的方式。

2、質量流量控制器（熱式），


3、質量流量控制器（差壓式） ，和熱式的差不多，但是受壓力變化的影響較小。BROOKS 、 porter 、 世偉洛克、萊茵泰克、瑟爾維斯。。。很多 價格5k-2w

除了以上幾種，大家在使用中還有其他的方式嗎 ？